TGA-327 HF 高精度痕量气体分析仪
- 产品名称：TGA-327 HF 高精度痕量气体分析仪
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TGA-327 HF 高精度痕量气体分析仪
的详细介绍
高精度痕量气体分析仪（TGA-327）是一款专为半导体行业空气分子污染分析（AMC）测量氟化氢(HF)而设计的专业仪器，采用光腔衰荡光谱技术（CRDS），具有很高的灵敏度，其检测下限可达ppt级别。不需要现场校准，非常适合连续测量。
该分析仪内部管路都进行了特殊涂层，可以有效的减小氟化氢(HF)分子在管道壁上的吸附，加速测量的响应时间并消除测量偏差。同时分析仪采
用小体积腔设计，能够进一步提升测量速度。
腔衰荡光谱（CRDS）与离子迁移谱（IMS）和离子色谱传统技术相比，具有探测下限低、响应时间快、无需耗材等显著优势，该分析仪具有更优的长期稳定性和低维护性，是半导体行业AMC连续监测的理想选择。
系统特点
ppt级别的灵敏度、精度以及准确度
免标定，低漂移
响应时间快
连续监测
无耗材成本
性能指标
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性能指标 |
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精度（1σ , 10 秒 /100 秒） |
＜ 30ppt/10ppt |
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检测下限（3σ , 100 秒） |
30ppt |
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线性 |
±1% |
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零点准确度 |
±25ppt |
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响应时间 |
＜ 180 秒 |
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量程范围 |
0-1ppm |
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其他性能参数 |
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测量技术 |
光腔衰荡光谱（CRDS）技术 |
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光腔温度控制 |
±0.005℃ |
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光腔压强控制 |
±0.0002atm |
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样品流量 |
＜ 2slm |
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进气接口 |
¼ 英寸 swagelok® |
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环境温度 |
15 ～ 35℃（工作）， -10 ～ 50℃（储存） |
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环境湿度 |
＜ 99%RH（无冷凝） |
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通信接口 |
RS232 、USB、以太网 |
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交互界面 |
7 寸液晶触摸屏 |
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电源 |
85 ～ 264VAC ，50/60Hz |
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总功耗 |
70W（分析仪） +300W（外置泵） |
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安装形式 |
工作台式或 19 英寸机架式 |
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仪器尺寸 |
（178×432×602）mm（H×W×D） |
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重量 |
≤28.05kg（包括外置泵） |
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配件（随附） |
外置真空泵，客户端分析软件 |
